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波纹管式机械手

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■ 可以在超高真空下实现样品的抓取和驱动;
■ 真空压差阻力小;
■ 线性移动灵活;
■ 旋转力矩大,无空转误差;
■ 整体可烘烤至150℃;
■ 真空漏率<1e-10 mbar/s
■ 可活动范围达±22.5°圆锥角
                                                                              


        波纹管式机械手集线性位移、旋转导入和多角度旋转为一体。独特的受力设计最大程度规避真空导致的压力,并能提供较大线性力。伸缩距离,法兰尺寸,抓手形状等均可按客户需求定制。
        本品通过双面焊接波纹管连接真空内外,一体式的设计可以提供4倍的旋转力矩以及高达90N的线性力。并能在±22.5°圆锥角运动。






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