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XYZ三维位移器 - ll型

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集成了x,y,z方向的位移功能;
以通过法兰口集成样品加热台等;
体可烘烤至250℃
以选择手动 / 电动位移;
使用一根波纹管。
 
 

XYZ三维位移器 - ll型

 

 

      三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移,主要与MBE加热样品台,PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。XYZ三维位移器-II型主要应用于Z方向行程中等的情况下,它仅使用一根波纹管,通过波纹管两端法兰相对位移实现XYZ线性移动。

 

 

 

 

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