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分子束外延生长系统

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标准分子束外延系统
分子束外延需要在高真空或超高真空的环境中进行。其显著特点是低沉积率,通常使薄膜以每分钟0.1到1纳米的速度外延生长,从而实现高质量的薄膜生长。分子束外延中,通常使用电子束加热源或者...
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