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蒸发源系列

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热蒸发源

        热蒸发源是基于分子束外延(MBE)技术开发的一种能制备各类原子级平整的单层或多层薄膜,并实现精确调控的超高真空设备。它通过热辐射方式加热原料,紧贴坩埚底的热偶可以实时监控原料温度,使得热蒸发源的生长参数具有高度的稳定性和可重复性。


电子束蒸发源

        电子束蒸发源是一种专为蒸镀难溶材料而设计的超高真空设备。它通过电子束轰击的方式加热样品,可以将样品加热到3000℃以上,且配有一体式水冷罩进一步提高加热效率,并将加热对真空度的影响降到最小。电子书蒸发源配有束流监控设备,可以精确控制样品沉积速率和层数。

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