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主要产品Key Products

视窗挡板

视窗挡板可以在一些特殊情况下保护视窗或者荧光屏。如生长样品时，不可避免地会有部分样品溅射到视窗或者RHEED荧光屏上，久...
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PLD标准靶台

激光分子束外延（PLD）利用紫外脉冲激光轰击生长原料（靶材）以实现真空镀膜。PLD标准靶台即是这一过程中盛放原料（靶材）...
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磁控旋转加热样品台

磁控旋转加热样品台主要用于在磁控溅射时对样品托的控温，样品架背后的灯丝可以实现样品从室温~700℃的大范围均匀变温。整个...
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PLD五维样品台

PLD五维样品台专为氧化物PLD系统设计，氧氛围加热样品台可以在10Pa的氧压下配合红外激光器将样品架加热至1000℃，...
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MBE四维样品台

MBE四维样品台可以实现对样品的精确x，y，z三维平移以及轴向的转动，方便传样、RHEED监控、氩刻等操作。样...
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线性移动组件

线性移动组件能实现高精度真空部件线性位移，其位移精度可达0.1mm，两端通过标准法兰连接真空部件与真空腔体，...
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热蒸发源程控电源

在各类超高真空二维薄膜生长过程中，温度的稳定性都直接关系到了实验的可靠性与可重复性。同时对于某些需要特定升降温曲线的材料...
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角度调节器

角度调节器能实现小角度圆锥角（≤5°）的方向矫正，主要与蒸发源、磁力杆等需要精准对齐的真空部件配合使用。特殊尺...
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旋转式磁耦合机械手

旋转式磁耦合机械手是专为真空中多角度传样而设计的真空部件。它集线性位移、旋转导入和多角度旋转为一体。独特的受力...
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电子束蒸发源

热灯丝产生的电子束经电场加速后轰击到靶材上使材料受热蒸发，具有受热集中、加热效率高的特点，特别适用于生长较难...
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最新资讯Latest news

埃频小课堂——热蒸发源 · 原料更换及使用指南

埃频小课堂——热蒸发源 · 原料更换及使用指南: 标准热蒸发源是MBE设备中最常用的生长源炉，它能够生长多种材料。由于成膜质量好，控制精度高，它已经被广泛的用于表面物理研究，半导体工艺，材料研究等方面。配合热蒸发源程控电源，可以实现温度的自动稳定与预设温度路径追踪，以实现多种生长方式。对于热蒸发源及程控电源的换料操作和使用方法，我们以视频的形式给出了操作流程以及注...

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埃频小课堂——电子束蒸发源 · 原料更换指南

埃频小课堂——电子束蒸发源 · 原料更换指南: 电子束蒸发源是分子束外延生长中常用的一款加热源，它具有受热集中、加热效率高的特点，特别适用于生长较难蒸发的低蒸汽压材料。对于电子束蒸发源的换料操作，我们以视频的形式给出了操作流程以及注意事项换料操作注意事项：1.选择棒材作为原料时应注意：（1）原料能否制成棒材（2）原料目标饱和蒸汽压对应的温度是否低于其熔点2.坩埚...

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