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埃频大事件——LMBE系统

埃频大事件——LMBE系统

2021-03-09

由埃频（上海）仪器科技有限公司独立开发并搭建的激光分子束外延（LMBE）系统于2020年9月在复旦大学微电子学院完成最后的安装和调试，正式交付客户使用。LMBE系统激光分子束外延是在传统的分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积系统（PLD）的基础上发展而来，能够沉积原子级平整的多元化合物（氧化物）薄膜。该系统集成了五...

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