电子束蒸发源是分子束外延生长中常用的一款加热源，它具有受热集中、加热效率高的特点，特别适用于生长较难蒸发的低蒸汽压材料。

对于电子束蒸发源的换料操作，我们以视频的形式给出了操作流程以及注意事项

                              

换料操作注意事项：

1.选择棒材作为原料时应注意：

    （1）原料能否制成棒材

    （2）原料目标饱和蒸汽压对应的温度是否低于其熔点

2.坩埚装料时：

    （1）坩埚需全程保持竖直

    （2）对于金属颗粒原料，可以把原料装到略微高于坩埚口的位置

3.棒材装料时：

    （1）棒材顶端到高压组件法兰面间距不能大于290mm

    （2）装回蒸发源之前，需要将线性位移器退到最后

4.装料完成后：

    （1）从蒸发口重新确认棒材/坩埚是否在蒸发口正中间