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埃频小课堂——热蒸发源 · 原料更换及使用指南

2021-03-09     返回

      标准热蒸发源是MBE设备中最常用的生长源炉,它能够生长多种材料。由于成膜质量好,控制精度高,它已经被广泛的用于表面物理研究,半导体工艺,材料研究等方面。配合热蒸发源程控电源,可以实现温度的自动稳定与预设温度路径追踪,以实现多种生长方式。

 

      对于热蒸发源及程控电源的换料操作和使用方法,我们以视频的形式给出了操作流程以及注意事项。

 

 

      热蒸发源使用注意事项:

            1.热蒸发源换料:

                (1)按照原料选择坩埚材质,需注意原料与坩埚材质是否合适;

                (2)装料建议覆盖满坩埚底部,但不要超过坩埚体积的2/3;

            2.程控电源使用注意事项:

                (1)建议根据目标生长温度设定合适的输出比例

                (2)不同稳定温度对应的PID参数是不同的,当稳定温度变化较大时,建议使用AT功能重新设定参数

 

 

 

 

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