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超高真空互联系统
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超高真空互联系统
在超高真空里领域,能否做到对样品的原位测量对实验结果是至关重要的。例如用STM或者ARPES表征外延手段生长的一些薄膜样品(如PLD或MBE)时,由于样品厚度往往只有几个原子层,因此在传输过程中仅仅是将样品置于较差真空中都可能对样品产生致命影响。
本公司真空互联系统致力于解决这一问题,它配有三级真空泵组的互联管道,静置时真空度可达2×10-10mbar,通过电机驱动小车用于传输样品,可以实现多系统长距离互联,大大拓展了表面真空实验的实验手段,并促进不同实验方法的交叉互补。
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