埃频（上海）仪器科技有限公司
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对于高熔点或者较难蒸发的低蒸汽压材料，往往需要用到电子束蒸发源来进行分子束外延生长，但相比于热蒸发源，电子束蒸发源的操作更加复杂，可能需要同时调节多个参数，且束流更难稳定。程控电子束蒸发源电源实现了高压和灯丝电流的远程控制，并可以实现发射电流和生长束流的自动稳定，使得电子束蒸发源的使用更加便捷。灯丝电源为ITECH提供的高精度电源，高压电源为MATSUSADA（日本）提供的高精度电源模块。