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真空零部件
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视窗挡板
视窗挡板可以在一些特殊情况下保护视窗或者荧光屏。如生长样品时,不可避免地会有部分样品溅射到视窗或者RHEED荧光屏上,久而久之会将其覆盖,这时就需要视窗挡板对视窗和荧光屏进行保护。
快开门
快开门主要用于快速开腔进样,其内部通过氟橡胶垫圈密封,可以反复使用,大大减少了无氧铜垫圈的使用。我们可以提供各种型号的盲板快开门和视窗快开门,其中视窗快开门集成了视窗和快开门的作用。
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