真空位移器-部件产品-埃频（上海）仪器科技有限公司

旋转式磁耦合机械手是专为真空中多角度传样而设计的真空部件。它集线性位移、旋转导入和多角度旋转为一体。独特的受力设计规避了真空导致的压差阻力。本产品通过磁力耦合方式连接真空内外，并能在±25°圆锥角运动。

线性移动组件能实现高精度真空部件线性位移，其位移精度可达0.1mm，两端通过标准法兰连接真空部件与真空腔体，在超高真空系统中非常常用。在电子束蒸发源、针尖处理装置等需要线性位移的组件中均有应用。标准线性移动组件驱动方式是手动，可以升级成电动模式。特殊尺寸可以接受定制，详情请咨询我司销售人员。

角度调节器能实现小角度圆锥角（≤5°）的方向矫正，主要与蒸发源、磁力杆等需要精准对齐的真空部件配合使用。特殊尺寸可以接受定制，详情请咨询我司销售人员。

旋转导入器能实现真空部件的绕轴旋转操作，主要控制热蒸发源、电子束蒸发源等真空部件等部件联合使用，以控制其挡板开合，也可以实现其他真空旋转操作。其主要通过磁耦合方式连接真空内外，因此可以提供较大扭矩。对于特殊尺寸可以接受定制，详情请咨询我司销售人员。

三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移，主要与MBE加热样品台，PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。XYZ三维位移器-I型主要应用在Z方向行程较短，或者腔体较小的情况。它的特点在于XYZ位移组件处于整个位移台的后端，这种设计的好处是能最大程度的节省空间。

三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移，主要与MBE加热样品台，PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。XYZ三维位移器-II型主要应用于Z方向行程中等的情况下，它仅使用一根波纹管，通过波纹管两端法兰相对位移实现XYZ线性移动。

三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移，主要与MBE加热样品台，PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。 XYZ三维位移器－III型主要应用于Z方向行程较长的情况下（≥300mm），如在两个相连腔体之间样品传输等。它包含两根波纹管，分别负责实现XY方向和Z方向位移。

旋转式抓手主要用来抓取各型号旗形样品托，它最大的优势是使用方便，磁力杆 / 机械手上仅需装配一套磁铁即可使用。但需要注意使用时不可过度旋转，以防损坏样品托把手。

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