超高真空互联系统-超高真空互联系统-埃频（上海）仪器科技有限公司


腔体由无磁304不锈钢制成；可以实现样品在磁控、PLD、MBE、STM、ARPES等系统之间的互联传输；系统通过传输小车运载样品，小车通过电机驱动，辅助激光定位，将样品精确传输到所需位置；小车定位精度小于0.5mm，样品移动以后不需要手动调节即可直接传样样品尺寸：10*10mm2旗形样品托(其他形状可定制)；配有三级超高真空泵组维持真空，静置真空度可达2×10-10mbar，传输过程真空度可达5×10-10mbar；互联系统配有多个传输位与扩展位，方便与更多其他系统互联。

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