埃频(上海)仪器科技有限公司
E-mail:info@aipin-instruments.com
电话:021-65640002
|
|
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
|
MBE四维样品台可以实现对样品的精确x,y,z三维平移以及轴向的转动,方便传样、RHEED监控、氩刻等操作。样品台通过液氮开循环制冷,最低温度可达150K。
样品台集成了热辐射、支流加热与电子束轰击三种加热方式,最高温度可达1500K,可用热偶与红外(需另配组件)测温。配合程控电源可实现对温度的精确控制以及程序化的升 / 降温过程。
MBE四维变温样品台尺寸图