电子束蒸发源-真空组件-埃频（上海）仪器科技有限公司

可升级成程控挡板以实现多种生长方式；
超高真空兼容;
可实时监测生长束流，束流稳定性高，配合程控电源可

以精确调节生长速率；
集成一体化水冷罩和挡板；

电子束蒸发源

热灯丝产生的电子束经电场加速后轰击到靶材上使材料受热蒸发，具有受热集中、加热效率高的特点，特别适用于生长较难蒸发的低蒸气压材料。该型号的电子束蒸发源可以实现非常精确的生长控制，主要用于表面物理研究中生长少层或者低维薄膜。

电子书蒸发源尺寸图

三口电子束蒸发源尺寸图

三口电子束蒸发源的工作原理与标准电子束蒸发源相同。其主要特点是通过一个DN40CF法兰集成了三个电子束

蒸发源，特别适合安装在在一些位置有限的腔体部位。其三个蒸发源炉之间内置特殊设计的挡板，有效防止了不同原

料之间相互污染，并且每个源炉均有独立的束流收集端，确保了生长时参数的可靠性与可重复性。

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