埃频（上海）仪器科技有限公司
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 可以实现150K~1500K大范围变温；样品台可通过辐射、直接电流与电子束三种方式进行加热；样品台可通过液氮导热冷却；可以通过热偶测温，可配合PID电源辅助控温；样品台可以通过液氮导热冷却；能实现XYZ方向平移以及绕z轴旋转；整体可烘烤至200℃。
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MBE四维样品台可以实现对样品的精确x，y，z三维平移以及轴向的转动，方便传样、RHEED监控、氩刻等操作。样品台通过液氮开循环制冷，最低温度可达150K。
样品台集成了热辐射、支流加热与电子束轰击三种加热方式，最高温度可达1500K，可用热偶与红外（需另配组件）测温。配合程控电源可实现对温度的精确控制以及程序化的升 / 降温过程。
MBE四维变温样品台尺寸图
