埃频（上海）仪器科技有限公司
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 所有靶均可实现真空原位换靶，并带水冷装置； 每个靶均带有分隔板与保护板；所有靶均能实现程控的自转与公转；靶台能实现X方向自控位移；靶台能实现Z方向手动位移；
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| PLD标准靶台 | |
激光分子束外延（PLD）利用紫外脉冲激光轰击生长原料（靶材）以实现真空镀膜。PLD标准靶台即是这一过程中盛放原料（靶材）的真空部件，它可以同时安装6个原料靶，每个靶台均有分隔板与保护板，可以实现程控靶位切换，配合机械手可真空原位更换靶材。程控靶自转和一维往复运动，可以提高靶材的利用率。配合准分子激光三轴联动扫描，可以提高薄膜的均匀性，实现大面积均匀薄膜样品的制备。
PLD标准靶台尺寸图
