旋转导入器能实现真空部件的绕轴旋转操作,主要控制热蒸发源、电子束蒸发源等真空部件等部件联合使用,以控制其挡板开合,也可以实现其他真空旋转操作。其主要通过磁耦合方式连接真空内外,因此可以提供较大扭矩。对于特殊尺寸可以接受定制,详情请咨询我司销售人员。
旋转导入器尺寸图