埃频(上海)仪器科技有限公司
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集成了x,y,z方向的位移功能; 可以通过法兰口集成样品加热台等; 整体可烘烤至250℃; 可以选择手动 / 电动位移; 仅使用一根波纹管。 |
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简易型XYZ三维位移器 |
三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移,主要与MBE加热样品台,PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。XYZ三维位移器-I型主要应用在Z方向行程较短,或者腔体较小的情况。它的特点在于XYZ位移组件处于整个位移台的后端,这种设计的好处是能最大程度的节省空间。