埃频(上海)仪器科技有限公司
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XYZ三维位移器 - ll型 |
三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移,主要与MBE加热样品台,PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。XYZ三维位移器-II型主要应用于Z方向行程中等的情况下,它仅使用一根波纹管,通过波纹管两端法兰相对位移实现XYZ线性移动。