埃频（上海）仪器科技有限公司
E-mail：info@aipin-instruments.com
电话：021-65640002
|
|
|
 集成了x,y,z方向的位移功能； 可以通过法兰口集成样品加热台等； 整体可烘烤至250℃；可以选择手动 / 电动位移；使用两根波纹管。
|
|
|
XYZ三维位移器 - III型 |
|
三维位移器能够实现真空部件的三维线性位移，主要与MBE加热样品台，PLD靶台等需要三维位移的真空部件联用。 XYZ三维位移器－III型主要应用于Z方向行程较长的情况下（≥300mm），如在两个相连腔体之间样品传输等。它包含两根波纹管，分别负责实现XY方向和Z方向位移。
