埃频(上海)仪器科技有限公司
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MBE五维样品台可以实现对样品的精确X,Y,Z三维平移以及轴向的转动,方便传样、RHEED监控、氩刻等操作。样品台通过液氮开循环制冷,最低温度可达150K。相比于MBE四维样品台,五维样品台多了一个调节维度,这使得样品台在调节的过程中有更多的自由度进行调节,方便实验,比如在使用RHEED时可以很方便的寻找到样品的高对称方向,以达到精确监控样品层数,确定晶格结构等功能。
MBE五维变温样品台功能示意图