埃频（上海）仪器科技有限公司
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 可以实现150K~1500K大范围变温；样品台通过辐射、直流与电子束三种方式进行加热；可以通过热偶测温，可配合PID电源辅助控温；
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品台可以通过液氮导热冷却；集成了面内、轴向的旋转功能； 整体可烘烤至200℃。
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MBE五维样品台可以实现对样品的精确X，Y，Z三维平移以及轴向的转动，方便传样、RHEED监控、氩刻等操作。样品台通过液氮开循环制冷，最低温度可达150K。相比于MBE四维样品台，五维样品台多了一个调节维度，这使得样品台在调节的过程中有更多的自由度进行调节，方便实验，比如在使用RHEED时可以很方便的寻找到样品的高对称方向，以达到精确监控样品层数，确定晶格结构等功能。
MBE五维变温样品台功能示意图
